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熱具體看是什么加熱方式了，詳見下面加工方式：
1.電阻加熱：這是一種最簡單的加熱方法，設(shè)備便宜、操作容易是其優(yōu)點(diǎn)。
2.電弧加熱：蒸鍍速率快，可達(dá)每秒1.0微米；基板不須加熱；可鍍高溫金屬及陶瓷化合物；鍍膜密高且附著力佳
3.感應(yīng)加熱：加熱效率佳，升溫快速，并可加熱大容量。
4.電子束加熱：這種加熱方法是把數(shù)千eV之高能量電子，經(jīng)磁場聚焦，直接撞擊蒸發(fā)物加熱，溫度可以高達(dá)30000C。
5.雷射加熱：激光束可經(jīng)由光學(xué)聚焦在蒸鍍源上，產(chǎn)生局部瞬間高溫使其逃離。紫外線的優(yōu)點(diǎn)是每一光子的能量遠(yuǎn)比紅外線高，因此準(zhǔn)分子雷射的功率密度甚高，用以加熱蒸鍍的功能和電子束類似。常被用來披覆成份復(fù)雜的化合物，鍍膜的品質(zhì)甚佳。
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